Avec une salle blanche-laboratoire en ultrapropreté extrême flambant neuve installée dans ses nouveaux locaux de Bernin, Faure Ingénierie prépare la future génération d'environnements ultrapropres.

Par Annie Zylberberg.

"La vocation de notre outil : valider les technologies de construction des salles blanches qui verront le jour à l'horizon 2007-2010, car il est primordial , dans notre métier, de réfléchir à demain", commente Louis-Paul Faure, patron de la société Faure Ingénierie. "Les salles blanches de classe 1 conçues actuellement vérifient des particules allant jusqu'à 0,1 µ, comme celle que nous avons réalisée pour Soitec, la première où l'on maîtrise la contamination moléculaire. En revanche, notre laboratoire expérimental permettra de contrôler des particules de 10 nanomètres (classe inférieure à 0,01 sur particules de 10 nm) et les contaminations moléculaires à la limite de la mesure d'ultratraces (classe entre 5 et 1 partie par trillion)", poursuit-il.
Ce saut technologique, de l'ultrapropreté à l'ultrapropreté extrême, va de pair avec celui de l'industrie des semi-conducteurs. Celle-ci se prépare en effet à produire des puces sur plaquettes de silicium de 300 millimètres avec une finesse de gravure de 0,10 µ (contre 200 millimètres actuellement avec gravure de 0,18 µ). "Cette technologie nécessitera une surveillance accrue de tous les vecteurs possibles de contamination chimique et moléculaire", explique Louis-Paul Faure. Raison supplémentaire de mettre sa salle blanche prototype de 100 m2 à la disposition de ses clients et partenaires pour leurs propres expérimentations.
L'expert en salles blanches mesure bien les enjeux des technologies nécessitant un environnement ultrapropre, en ayant participé à l'élaboration des toutes premières. Ingénieur électricien passé par l'Iae, Louis-Paul Faure a travaillé neuf ans chez Thomson semi-conducteurs, devenu STMicroelectronics, comme responsable des infrastructures industrielles. Cheville ouvrière pendant plus de 10 ans de l'Aspec, Association pour l'étude et la prévention de la contamination, il se lance en 1987 comme ingénieur-conseil, puis crée en 1991 une Sarl transformée en 1994 en SA.
Conseil en installation et construction de salles blanches, maîtrise d'œuvre, mais également validation d'installations, Faure Ingénierie affiche une croissance de 55 % pour son exercice 2000-2001 (CA prévisionnel : 40 MF), et porte son effectif à 30 personnes avec 13 collaborateurs supplémentaires. "On nous demande de plus en plus de mener des opérations clés en main et des projets plus conséquents", ajoute Louis-Paul Faure. Cette montée en puissance réalisée à 55 % dans l'électronique, 25 % en pharmacie-santé, 5 % dans le spatial et l'aéronautique et 15 % pour d'autres techniques de pointe, est associée à la construction de nouveaux locaux implantés judicieusement entre Soitec et STMicroelectronics. Elle s'accompagne de la création en février dernier d'une agence à Lyon et de l'ouverture bientôt programmée d'une antenne à Genève. Bénéficiant du soutien scientifique du Cea pour le développement et la R&D dans l'ultrapropreté, Faure Ingénierie, certifiée Iso 9001 en mars 2001, compte bien poursuivre son avancée technologique, et table sur un prévisionnel de 70 MF pour le prochain exercice.